Http://www.rayscienc E.com/DHM/DHM_R1100. Pdf.pdf

A série R1100 de microscópios de holografia digital da Lyncee Tec oferece resolução subnanométrica e um alcance de 10 μm sem varredura vertical. Esses instrumentos possuem modos de operação, incluindo modo de dupla longitude de onda, varredura de coerência vertical e compatibilidade com o módulo de flash da Lyncee Tec para estudos de MEMS/MOEMS. A calibração vertical depende apenas da longitude de onda, não requerendo movimentos mecânicos.

Os parâmetros técnicos incluem:
- Tecnologia de medição: holografia digital de reflexão de dupla longitude de onda e varredura de coerência vertical
- Tipo de imagem: intensidade e contraste de fase quantitativa
- Fonte de luz: laser de dupla cor
- Plataforma de amostra: manual ou automática XYZ
- Câmera: 1392x1040 pixels, 8 bits
- Software: Koala, baseado em C++ e .NET

As performances incluem:
- Modos de medição: longitude de onda única, dupla longitude de onda e varredura vertical
- Precisão: 0,1 nm, 25 nm e 0,5 μm, respectivamente
- Resolução vertical: 0,2 nm, 50 nm e 1,0 μm
- Repeatabilidade: <0,01 nm, 0,25 nm e <0,05 μm
- Alcance de medição vertical: até 10 μm para amostras planas e 340 nm para superfícies inclinadas.