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Soutenance Thèse.pdf

Soutenance_A.Chouichi.pdf

🔗 Source: mines-stetienne.fr

📊 Size: 185 KB

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Summary

Dans toutes les industries manufacturières, les chambres mises en parallèles sur une même opération de production sont censées donner un résultat similaire et offrir des produits de qualité identique, mais cela n'est pas toujours le cas. Cette thèse propose une méthodologie pour détecter et corriger en temps réel les différences de performance entre les chambres parallèles dans l'industrie des semi-conducteurs en exploitant toutes les données disponibles pour identifier les causes racines des différences significatives. L'approche consiste à détecter les écarts entre les chambres, à analyser les données des capteurs pour mettre en évidence les indicateurs causant ces écarts, et à ajuster ces indicateurs grâce à un mécanisme de contrôle efficace composé de métrologie virtuelle et de régulation.

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Description

Dans toutes les industries manufacturières, les chambres mises en parallèles sur une même opération de production sont censées donner un résultat similaire et...

Technical Information

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Pages: 2
Language: FR
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