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Description
電⼦光学設計技術分科会第8 回研究会「⼩型ＳＥＭ電⼦光学系とその先」を開催。成熟した「⼩型ＳＥＭ」の光学系を再検証し、将来の⾼分解能化・⾼機能化の可能性を議論。2021 年11 ⽉19 ⽇にリモート開催。参加費は無料。定員は50 名。参加登録はE メールで締切は2021 年11 ⽉12 ⽇。
Technical Information
- File Format: PDF
- File Size: 109 KB
- Pages: 1
- Language: IT
- Author: jsm
- Total Downloads: 8
- Last Updated: 5 months ago
Document Overview
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